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產品名稱︰化學機械磨拋機

產品型號︰ UNIPOL-1203

產品jianshu︰自動桌面式磨拋機，CMP平

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技術參數

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應用實例

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UNIPOL-1203化學機械磨拋機，shi用于CMP平坦化和平滑化工yi技術， zheng機研磨部fen采用防fu材liao，耐化學fushi，配置自動滴liaoqi和精密磨拋kong制yi，全自動觸摸屏面板，cong加工性能和su度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。 1、超平不銹鋼拋光盤（平面度為mei25mm×25mmxiao于0.0025mm）。
2、超精旋zhuan軸（托盤端跳xiao于0.01mm）。
3、設有兩個加工工位，kehi鸞ong制。
4、配有全自動kong制觸摸屏面板，ke設置主軸zhuansu、擺臂suu　?zi奔洹br /> 5、配置自動滴liaoqi，流量su率ke視化調zheng，自動研磨和拋光。
6、配置GPC-100A精密磨拋kong制yi，ke調節壓li，修zheng面型，shi磨拋更加方便快捷。
7、研磨部fen采用防fu材liao，耐化學fushi。

產品名稱	UNIPOL-1203化學機械磨拋機
產品型號	UNIPOL-1203
anzhuang條件	本設備要求zai海拔1000myi下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下shi用。 1、水︰設備配有上水kou及下水kou，需自行連jie自lai水及排水 2、電︰AC220V 50Hz，必須有liang好jiedi 3、氣ebr /> 4、工作台︰尺寸800mm×600mm×700mm，承重200kgyi上 5、tong風zhuang置︰不需要
主要參數	主機部fen
	1、電源:220V 2、功率:450W 3、磨拋盤zhuansu:10-240rpm 4、磨拋工位:2個 5、擺臂調節檔位:1-15檔 6、托盤端跳:0.008/250mm 7、不銹鋼磨拋盤:φ300mm 8、載yang盤:φ105mm 9、修盤環:φ127.5mm
	GPC-100A精密磨拋kong制yi
	1、載yang盤zhi徑︰?103mm 2、載yang盤軸向行程︰12mm 3、數顯表精度︰0.001mm 4、載yang盤ke調加載壓li︰ 0.1kg-2.1kg 5、壓li確renyi有效量程︰1g-5000g 6、yang品zhuangka方式︰真空吸附 7、承載yang件尺寸︰zhi徑≦103mm、厚u2mm 8、尺寸︰外徑146mm，gao266mm
	自動滴liaoqi
	SKZD-2滾筒滴liaoqi 1、容積︰1.5L 2、流量︰0-35ml/min 3、尺寸︰170×290×350mm；重量︰3kg SKZD-4自動滴liaoqi 1、加yebeng︰4個 2、liaoye瓶︰600ml/瓶 3、ji時範圍︰1-999min 4、流量︰0.1ml/min-10ml/min 5、尺寸︰230×370×450mm；重量︰10kg
產品規格	1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm 2、重量:74Kg

序號	名稱	數量	i　ie
1	鑄鐵磨盤（?300mm花盤）	1個
2	不銹鋼磨盤（?300mm平盤）	1個
3	載物盤（tao瓷）	1個
4	修盤環（tao瓷）	1個
5	拋光墊（磨sha革、合cheng革、聚氨酯）	各1片
6	磁li片（帶beijiao）	2片
7	研拋底片	2片
8	剛玉研磨微粉	0.5kg
9	石蠟棒	4根
10	二氧化gui懸fu拋光ye 2040 W0.05	1瓶

序號	名稱	功能類別	i　ie
1	YJXZ-12jiao拌循環beng	（ke選）
2	精密測厚yi	（ke選）
3	tao瓷研磨盤	（ke選）
4	玻li研磨盤	（ke選）
5	磁性shu脂金剛石研磨片	（ke選）

UNIPOL-1203操作指dao

UNIPOL-1203拋光6寸tan化gui薄片

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